“在政策支持等多重因素的推動(dòng)下,我國(guó)建立起了相對(duì)完整的電子特氣生產(chǎn)和供應(yīng)體系,產(chǎn)能逐步釋放,部分產(chǎn)品性能可比肩國(guó)際先進(jìn)水平?!?nbsp;
“電子特氣被稱為電子工業(yè)的‘血液’和‘糧食’?!比珖?guó)人大代表、山東省工商聯(lián)副主席、聯(lián)泓新材料科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱聯(lián)泓新科)董事長(zhǎng)鄭月明在接受科技日?qǐng)?bào)記者采訪時(shí)表示。
根據(jù)《山東省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃》,山東省提出要打造百億級(jí)國(guó)家第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高地,作為關(guān)鍵性原材料的電子特氣不可或缺。
近年來(lái),電子特氣產(chǎn)業(yè)得到了國(guó)家政策的大力支持,國(guó)家發(fā)改委、科技部、工信部等相繼出臺(tái)多項(xiàng)政策推動(dòng)電子特氣產(chǎn)業(yè)發(fā)展。2016年12月,工信部聯(lián)合發(fā)改委、科技部、財(cái)政部印發(fā)《新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展指南》,首次提出“加快高純特種電子氣體研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”;2019年12月,工信部將用于新型顯示的特種氣體——高純氯氣、三氯氫硅、氯化氫、四氯化硅等列為重點(diǎn)新材料;2021年12月,《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2021年版)》又提出將發(fā)展包括特種氣體在內(nèi)的198種先進(jìn)基礎(chǔ)材料。
鄭月明發(fā)現(xiàn),在政策支持等多重因素的推動(dòng)下,我國(guó)建立起了相對(duì)完整的電子特氣生產(chǎn)和供應(yīng)體系,產(chǎn)能逐步釋放,部分產(chǎn)品性能可比肩國(guó)際先進(jìn)水平,達(dá)到了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)對(duì)電子特氣的工藝要求。但由于起步較晚,目前多數(shù)國(guó)內(nèi)相關(guān)企業(yè)仍處于探索、布局階段。
正因?yàn)楫a(chǎn)業(yè)急需,由鄭月明帶領(lǐng)的聯(lián)泓新科投資設(shè)立控股子公司布局了電子級(jí)高純特氣的研發(fā)、生產(chǎn)。據(jù)了解,該企業(yè)掌握多項(xiàng)電子特氣的提純關(guān)鍵技術(shù),研發(fā)出了具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子級(jí)氯化氫和氯氣產(chǎn)品。
在調(diào)研中,鄭月明發(fā)現(xiàn)電子特氣產(chǎn)業(yè)在技術(shù)、認(rèn)證、市場(chǎng)等方面還面臨著一系列問(wèn)題。
在技術(shù)方面,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)電子特氣品種和數(shù)量的需求日益增加,對(duì)產(chǎn)品純度、潔凈度和穩(wěn)定性也提出了更高的要求;在認(rèn)證方面,電子特氣作為關(guān)鍵材料,下游客戶對(duì)供應(yīng)商的選擇均需經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的審核認(rèn)證,其中一些領(lǐng)域的審核認(rèn)證周期長(zhǎng)達(dá)2年至3年;在市場(chǎng)方面,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)布局較為集中,且多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)已和固定的供應(yīng)商建立了長(zhǎng)期合作關(guān)系,這使得其他電子特氣生產(chǎn)企業(yè)要想進(jìn)入市場(chǎng)比較困難。
要破解這些難題,鄭月明給出了自己的建議:加強(qiáng)頂層設(shè)計(jì),引導(dǎo)產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展,制定行業(yè)發(fā)展中長(zhǎng)期規(guī)劃,明確發(fā)展目標(biāo);通過(guò)政策引導(dǎo),鼓勵(lì)企業(yè)加大研發(fā)投入,對(duì)技術(shù)門檻高的電子特氣研發(fā)項(xiàng)目,給予專項(xiàng)資金支持;鼓勵(lì)高校設(shè)立相關(guān)學(xué)科專業(yè),支持科研機(jī)構(gòu)建設(shè)相關(guān)研發(fā)平臺(tái);出臺(tái)相關(guān)政策,支持和鼓勵(lì)產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)作,共同建設(shè)協(xié)同創(chuàng)新體系,打破或減少市場(chǎng)壁壘;支持平板顯示等企業(yè)優(yōu)先使用國(guó)產(chǎn)電子特氣產(chǎn)品,落實(shí)重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用保險(xiǎn)補(bǔ)償機(jī)制,鼓勵(lì)保險(xiǎn)機(jī)構(gòu)探索設(shè)計(jì)相關(guān)產(chǎn)品責(zé)任險(xiǎn),降低產(chǎn)品認(rèn)證風(fēng)險(xiǎn),進(jìn)一步支持優(yōu)質(zhì)電子特氣企業(yè)做大做強(qiáng)。(記者 王延斌)
轉(zhuǎn)自:科技日?qǐng)?bào)
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