不止缺芯還缺氣 我國電子芯片用特氣80%依賴進(jìn)口

　　“中興事件讓國人深刻體會(huì)到了缺‘芯’之痛，但我們不止缺芯，還缺氣。”在日前舉行的中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)第28次會(huì)員代表大會(huì)暨2018年年會(huì)上，中國氣體協(xié)會(huì)秘書長洑春干告訴記者，目前電子芯片生產(chǎn)用特氣我國僅能生產(chǎn)約20%，其余全部依賴進(jìn)口。

　　據(jù)洑春干介紹，電子氣體作為極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，被廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝，沒有這些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太陽能產(chǎn)品就無法制造。據(jù)業(yè)內(nèi)不完全統(tǒng)計(jì)，2016年我國晶圓制造電子材料市場(chǎng)總額達(dá)343.03億元，較2015年增長6.9%，2017年約為360億元，未來仍將保持增長態(tài)勢(shì)。

　　經(jīng)過近10年發(fā)展，國內(nèi)電子氣體行業(yè)涌現(xiàn)出一批生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定，能夠被半導(dǎo)體客戶接受的電子氣體生產(chǎn)企業(yè)，如中船重工第七一八研究所、中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司、黎明化工研究設(shè)計(jì)院有限責(zé)任公司、佛山市華特氣體有限公司等。從2012年至2016年，國內(nèi)電子氣體企業(yè)生產(chǎn)銷售額占中國晶圓制造電子氣市場(chǎng)份額由3.8%增加至25.0%，預(yù)計(jì)2017年將達(dá)28.4%。國內(nèi)電子氣體市場(chǎng)總量接近全球市場(chǎng)的1/3，且在不斷提高，但國內(nèi)電子氣產(chǎn)品的自給率卻非常低，近八成產(chǎn)品依賴進(jìn)口。

　　蘇州金宏氣體股份有限公司董事長金向華、廣東華特氣體股份有限公司總經(jīng)理傅鑄紅等業(yè)界代表也表達(dá)了上述觀點(diǎn)。傅鑄紅告訴記者，從品種上來說，目前常用的電子氣體純氣有60多種，混合氣有80多種，但中國能真正實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化的只有20多種。

　　電子氣體國產(chǎn)化迫在眉睫，是與會(huì)代表達(dá)成的共識(shí)。“核心技術(shù)靠化緣是要不來的，也是花錢買不來的，中國必須掌握電子氣體核心技術(shù)。”洑春干呼吁國內(nèi)企業(yè)加大自主創(chuàng)新，用實(shí)際行動(dòng)為“中國芯”打氣。他說，國家對(duì)電子氣體的發(fā)展一直比較重視，僅去年就出臺(tái)了多項(xiàng)鼓勵(lì)政策。譬如科技部印發(fā)的《“十三五”先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域科技創(chuàng)新專項(xiàng)規(guī)劃》提到要重點(diǎn)研發(fā)超高純電子氣體；發(fā)改委印發(fā)的《增強(qiáng)制造業(yè)核心競爭力三年行動(dòng)計(jì)劃（2018～2020年）》提到了高純氯氣、氯化氫、氧硫化碳（COS羰基硫）、乙硼烷、鍺烷、高純鍺烷、砷烷、高純砷烷、磷烷、高純磷烷、乙硅烷、高純溴化氫、高純乙硅烷等系列電子特氣。國內(nèi)企業(yè)應(yīng)抓住時(shí)機(jī)，通過自主創(chuàng)新，增加產(chǎn)品種類，提高國產(chǎn)化率。譬如，加大高危、易燃易爆、腐蝕性、劇毒氣體的純化、監(jiān)測(cè)、充裝、輸送、貯存技術(shù)以及安全環(huán)保技術(shù)、現(xiàn)場(chǎng)配氣技術(shù)、回收與再利用技術(shù)等的開發(fā)力度。

　　傅鑄紅則強(qiáng)調(diào)要加強(qiáng)電子氣體的品質(zhì)管理。他說，有些電子氣體國內(nèi)并不是完全不能生產(chǎn)，但在技術(shù)精益性上與國際先進(jìn)水平有差距。譬如氯化氫，國內(nèi)企業(yè)也可以做到水分含量滿足指標(biāo)要求，但今天能滿足，明天卻不一定能滿足，難以確保氣體質(zhì)量在高水平恒定。

　　據(jù)記者了解，中船七一八所已研制出高純?nèi)?、六氟化鎢氣體和三氟甲磺酸系列產(chǎn)品，并實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)，填補(bǔ)國內(nèi)空白。截至目前，其三氟化氮、六氟化鎢生產(chǎn)規(guī)模均位居國內(nèi)第一、世界前三，基本打進(jìn)了國內(nèi)所有的半導(dǎo)體、液晶面板及太陽能行業(yè)廠家及全球知名的半導(dǎo)體廠家；SiF4、C2F6、C3F8、八氟環(huán)丁烷、HF、氯化氫、COF2等7種電子氣體及10種混合氣體的研發(fā)也已順利完成。金宏氣體的超純氨、八氟環(huán)丁烷、高純二氧化碳等產(chǎn)品已形成規(guī)模化生產(chǎn)，高純氯化氫、高純氯氣等系列產(chǎn)品也將陸續(xù)投入市場(chǎng)。

　　此外，近來國內(nèi)對(duì)鍺烷、砷烷、磷烷、C4F6等氣體產(chǎn)品的研發(fā)也有所突破。（記者 龐利萍）

　　轉(zhuǎn)自：中國化工報(bào)

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