月底交付三安 國內(nèi)首款LED半導體晶圓倒片機量產(chǎn)


來源:中國產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟信息網(wǎng)   時間:2019-09-10





  據(jù)松江報報道,由上海福賽特智能設備有限公司獨立研發(fā)的國內(nèi)首款LED半導體晶圓倒片機今年量產(chǎn),長三角G60科創(chuàng)走廊研發(fā)成果填補了行業(yè)空白。


  該公司智能設備事業(yè)部副總經(jīng)理劉純君表示,此設備用在LED半導體外延工藝段,可實現(xiàn)晶圓從原料倉至PVD(物理氣相沉積)工序之間以及PVD工序到MOCVD(金屬有機物化學氣相沉積)工序之間的周轉(zhuǎn)。


  值得注意的是,該報道指出,劉純君也介紹說,這批設備是交付給三安集團的,三安集團作為國內(nèi)LED晶圓制造業(yè)的龍頭企業(yè),對產(chǎn)品品質(zhì)要求很高。


  據(jù)悉,在福賽特推出此設備之前,這種周轉(zhuǎn)主要通過人工操作完成。人工操作引入的污染會對產(chǎn)品品質(zhì)產(chǎn)生很大影響,因為人為失誤造成的產(chǎn)品或載具損傷浪費不小。而且,人工操作和周轉(zhuǎn)中斷了設備信息流和數(shù)據(jù)流,不利于產(chǎn)品信息追蹤及回溯。福賽特LED半導體晶圓倒片機的推出,解決了行業(yè)痛點。


  此外,目前福賽特第一款設備LED半導體晶圓倒片機已經(jīng)量產(chǎn),PSS工藝段的第二款產(chǎn)品PSS自動上片機已經(jīng)研制成功,目前該公司正與國內(nèi)LED主設備龍頭企業(yè)洽談,擬合作研發(fā)嵌入式晶圓倒片模塊,支持新一代國產(chǎn)MOCVD和PVD設備的研制。


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