國產(chǎn)28納米刻蝕機明年實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化

中國是全球集成電路最大市場，但是大量產(chǎn)品依賴進口，要將我國集成電路產(chǎn)業(yè)做大做強，其中關(guān)鍵一環(huán)是將我國的集成電路裝備制造業(yè)搞上去。北方微電子作為國內(nèi)首家將集成電路高端裝備送入大生產(chǎn)線的本土裝備制造企業(yè)，經(jīng)過10余年的努力，已研發(fā)出刻蝕機（ETCH）、物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）三項核心設備，未來仍將致力于推進集成電路設備的國產(chǎn)化進程。

北方微電子28納米刻蝕機已通過認證

2013年北方微電子成功開發(fā)的12英寸28納米刻蝕機，現(xiàn)已通過中芯國際認證。同時縮短了與國際一流設備的差距。

集成電路應用極其廣泛，重要性不言而喻。在手機、筆記本電腦、身份證等與電子相關(guān)的終端產(chǎn)品中無不需要用到芯片，而生產(chǎn)制造芯片的整個流程大約有400～500道工序，需要用到的關(guān)鍵設備至少有十幾種。沒有過硬的、且掌握核心技術(shù)的集成電路裝備制造業(yè)，就談不上自主可控的集成電路產(chǎn)業(yè)。要將我國集成電路產(chǎn)業(yè)做大做強，就一定要把我國集成電路裝備制造業(yè)搞上去。然而，由于歷史原因我國集成電路裝備產(chǎn)業(yè)與國際先進水平存在較大差距。目前，我國大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線（8～12英寸）的芯片制造設備大量依賴進口，這不僅嚴重影響了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，也對我國電子信息的安全造成重大隱患。

集成電路裝備制造是一個十分精密復雜、競爭激烈的行業(yè)。首先，更新?lián)Q代速度快。摩爾定律18個月升級一代，決定了設備的更新?lián)Q代頻率。企業(yè)如果跟不上這個節(jié)奏，結(jié)果就是被淘汰。其次，加工精度極高。納米級的加工精度已達到百萬分之一毫米，一臺設備物料達到3000多件，軟件代碼達到100多萬行，需要200多家供應商。一臺設備的開發(fā)就是一個龐大而復雜的系統(tǒng)工程。最后，驗證周期長。一臺設備開發(fā)成功，不僅僅是完成上線驗證，更重要的是要通過大生產(chǎn)線嚴格的長期測試，整個周期至少需要18個月，同時要滿足嚴苛的可靠性、一致性要求。北方微電子成立于2001年，是“十五”計劃期間為推進我國集成電路裝備制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展而成立的。成立之初即承擔了國家“十五”863計劃集成電路制造裝備重大專項“100納米高密度等離子刻蝕機”項目。2003年項目正式啟動，2006年通過驗收，從研發(fā)到量產(chǎn)只用了不到4年的時間，投入金額2.6億元。國外研發(fā)同類設備大約需要5～7年，投資約在4億美元。2013年北方微電子成功開發(fā)的12英寸28納米刻蝕機，現(xiàn)已通過中芯國際認證，中芯國際28納米生產(chǎn)線的建設為北方微電子的設備提供了一個快速發(fā)展的市場機會，同時縮短了與國際一流設備的差距。

目前，北方微電子承接了14納米的刻蝕機項目，計劃于2017年達到量產(chǎn)水平，進一步縮短與國外的差距。

不斷拓寬產(chǎn)品應用領(lǐng)域

大力整合系統(tǒng)內(nèi)與系統(tǒng)外的資源，力爭在5年內(nèi)裝備技術(shù)達到國際先進的14納米技術(shù)代。

在加快提升集成電路裝備制造技術(shù)實力的同時，北方微電子還將積極拓展產(chǎn)品的應用領(lǐng)域，目前已將集成電路設備成果應用到半導體照明（LED）、微機電系統(tǒng)（MEMS）、先進封裝、光通信器件、化合物半導體等領(lǐng)域。采用氮化鎵基發(fā)光二極管（LED）作為光源的半導體照明技術(shù)，以節(jié)能、高效、壽命長等優(yōu)點被廣泛用于照明、大屏幕顯示、指示燈、背光源等領(lǐng)域，被認為是目前最具競爭力的綠色固態(tài)照明技術(shù)。目前北方微電子的刻蝕機與PVD已在國內(nèi)半導體照明市場占據(jù)主導地位，刻蝕機的市場份額超過50%。

晶圓級封裝和3D封裝等先進封裝技術(shù)因其更高性能、更多功能、更小尺寸、更低功耗和更低成本的優(yōu)勢，被看作推動產(chǎn)業(yè)向前發(fā)展的創(chuàng)新型封裝解決方案，在封裝協(xié)同設計、低成本材料和高可靠性技術(shù)方面的進步至關(guān)重要。北方微電子成功把刻蝕機和PVD推廣應用到先進封裝生產(chǎn)線當中，目前國內(nèi)市場占有率排名第一。

未來，北方微電子將把握國家發(fā)布《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》的契機，一方面積極爭取國家產(chǎn)業(yè)基金的支持，同時大力整合系統(tǒng)內(nèi)與系統(tǒng)外的資源，建設大規(guī)模集成電路的工藝驗證平臺，5年內(nèi)裝備技術(shù)達到國際先進的14納米技術(shù)代。在鞏固提升國內(nèi)市場占有率的同時，力爭5年內(nèi)打入國際市場，產(chǎn)業(yè)化規(guī)模突破20億元，成為國內(nèi)最大的集成電路裝備企業(yè)，建成國家級的集成電路裝備產(chǎn)業(yè)化示范基地。 （本報記者陳炳欣采訪整理）

來源：中國電子報

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