河南多氟多電子級(jí)化學(xué)品實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代

　　近日，由國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)（SEMI）和中國(guó)電子商會(huì)（CECC）共同舉辦的全球規(guī)模最大、規(guī)格最高的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)年度盛會(huì)--"SEMICON China 2019"在上海新國(guó)際博覽中心舉行。河南省多氟多化工股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)多氟多）攜電子級(jí)氫氟酸、電子級(jí)硫酸、電子級(jí)硝酸、甲硅烷等系列產(chǎn)品參展。

　　2018年，多氟多電子級(jí)氫氟酸與國(guó)內(nèi)多家8寸和12寸半導(dǎo)體客戶(hù)建立了合作關(guān)系，并成功進(jìn)入美國(guó)、韓國(guó)等半導(dǎo)體跨國(guó)公司供應(yīng)鏈，產(chǎn)品品質(zhì)達(dá)到了行業(yè)最高級(jí)別UP-SSS級(jí)，實(shí)現(xiàn)了進(jìn)口替代。

　　據(jù)中國(guó)工業(yè)報(bào)記者了解，電子級(jí)氫氟酸是應(yīng)用于集成電路（IC）和超大規(guī)模集成電路（VLSI）芯片制作過(guò)程的高端化工材料之一，主要用于芯片的刻蝕。全球具備最高品質(zhì)電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)線的企業(yè)屈指可數(shù)，多氟多憑借30年氟化工創(chuàng)新實(shí)力成為其中之一。多氟多是技術(shù)工藝領(lǐng)先的精細(xì)無(wú)機(jī)氟化工領(lǐng)軍企業(yè)、我國(guó)無(wú)機(jī)氟化工行業(yè)第一家上市公司，擁有國(guó)家認(rèn)定企業(yè)技術(shù)中心、國(guó)家認(rèn)可實(shí)驗(yàn)室、國(guó)家博士后科研工作站等研發(fā)機(jī)構(gòu)，主持制、修訂國(guó)家無(wú)機(jī)氟化物的100余項(xiàng)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)、分析方法標(biāo)準(zhǔn)、標(biāo)準(zhǔn)樣品、生產(chǎn)技術(shù)規(guī)范等，在新材料領(lǐng)域處于行業(yè)領(lǐng)先地位。多氟多于2012年建成超凈高純電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)線，制程設(shè)計(jì)為UP-SS級(jí)，經(jīng)過(guò)自主創(chuàng)新、工藝優(yōu)化，產(chǎn)品品質(zhì)提升至UP-SSS級(jí)，目前已形成1萬(wàn)噸產(chǎn)能。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程、半導(dǎo)體照明、晶體硅太陽(yáng)能、平板顯示等多個(gè)領(lǐng)域。多氟多采用DCS自動(dòng)化操控系統(tǒng)，超凈高純PFA雙套輸送管道，萬(wàn)級(jí)自動(dòng)清洗、千級(jí)自動(dòng)灌裝、百級(jí)取樣分析，配備全球先進(jìn)的檢測(cè)儀器和設(shè)備，制程控制連續(xù)穩(wěn)定，產(chǎn)品指標(biāo)優(yōu)于業(yè)界通用的UP-SS/SEMI-C12級(jí)水平，達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。

　　2018年4月，多氟多并購(gòu)浙江中寧硅業(yè)，打造中國(guó)電子化學(xué)品"南基地"，形成濕電子化學(xué)品和干電子化學(xué)品互補(bǔ)優(yōu)勢(shì)。中寧硅業(yè)是我國(guó)第一家國(guó)產(chǎn)工業(yè)化生產(chǎn)硅烷的廠家，是目前國(guó)內(nèi)惟一一家同時(shí)進(jìn)入光伏，TFT以及半導(dǎo)體三個(gè)行業(yè)硅烷廠家。該公司擁有國(guó)際上先進(jìn)的硅烷法工藝，主打產(chǎn)品硅烷和多晶硅在2011年已做到了電子級(jí)，產(chǎn)品用于半導(dǎo)體、液晶面板和光伏行業(yè)，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到國(guó)外同等水平，年產(chǎn)多晶硅3000噸、高純硅烷4000噸，生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到世界領(lǐng)先水平，以替代進(jìn)口為目標(biāo)，氫氣、氦氣電子特種氣體有60多種。目前中寧硅業(yè)正在投資建設(shè)納米硅粉、電子級(jí)四氟化硅、電子級(jí)含氯硅烷、氟氮混合氣、電子級(jí)多晶硅等項(xiàng)目，讓更多的化工新材料走向世界。

　　多氟多在新材料領(lǐng)域的快速發(fā)展受到了國(guó)內(nèi)外眾多半導(dǎo)體企業(yè)的熱切關(guān)注，展會(huì)期間，多氟多會(huì)見(jiàn)了來(lái)自美國(guó)、日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)及國(guó)內(nèi)眾多芯片企業(yè)、硅片制造商和上下游客戶(hù)，就業(yè)務(wù)合作、前沿技術(shù)、產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)等開(kāi)展了商務(wù)洽談和深入交流。（記者 陳述明 通訊員 董少華）

　　轉(zhuǎn)自：中國(guó)工業(yè)報(bào)

 

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